【摘 要】
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观察集成精密传感器的容错型联网拓扑结构的发展,其主要集中在以MODBUS TCP/IP以太网为基础的SEMI传感器总线标准上,该技术已处于网络互联技术的领先地位.文章介绍了该标准和
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观察集成精密传感器的容错型联网拓扑结构的发展,其主要集中在以MODBUS TCP/IP以太网为基础的SEMI传感器总线标准上,该技术已处于网络互联技术的领先地位.文章介绍了该标准和它在系统集成中的优点,讨论了一个半导体芯片厂在APC框架中通过集成智能传感器,使Internet/Intranet技术向下贯通到传感器层,明显加快了关键过程信息的采集,这一成就极大地简化了在工厂底层采用和支持智能传感器的技术.
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