论文部分内容阅读
文章重点分析了管式PECVD镀膜均匀性的影响因素。通过改变PECVD镀膜过程中的腔体压力、镀膜前的恒温时间及金字塔绒面均匀性、石墨舟清洗配方等因素进行实验研究。结果显示,适当降低PECVD镀膜压力,增加镀膜前恒温时间、提升镀膜前硅片绒面均匀性、降低石墨舟表面粗糙度可以提升PECVD镀膜均匀性。
管式PECVD设备镀膜均匀性研究
【摘 要】
：
文章重点分析了管式PECVD镀膜均匀性的影响因素。通过改变PECVD镀膜过程中的腔体压力、镀膜前的恒温时间及金字塔绒面均匀性、石墨舟清洗配方等因素进行实验研究。结果显示,
【机 构】
：
西安太阳能电力有限公司
【出 处】
：
通信电源技术
【发表日期】
：
2018年09期
其他文献
混合所有制不只是股份制（一）混合所有制在我国还是一个新概念。改革开放前我国只有国家所有制和集体所有制两种基本的所有制形式，集体所有制又采取了“二国营”模式。个体所有制
中国80年代的经济改革政策促进了农业的发展和食品市场的开放,带动了90年代饲料工业和畜牧业的快速发展,使中国国内饲料工业对玉米和豆粕的需求稳定增长。据美国的饲料谷物协
2015年3月27日，双峰县三塘铺镇种粮大户邓宋辅从双峰农机机电大市场购回了耕种机、插秧机等5台农机，对前来参观的村民感慨地说：“多亏镇村干部协调，在我只流转了2公顷稻田的情况
透水混凝土是一种不合细骨料的混凝土，通常被称为无砂混凝土。它由胶凝材料、粗骨料、水和外加剂按照一定的比例拌合而成。由于无细骨料，硬化后的混凝土体中存在着较大的孔洞，具
这是历史的巧遇,举世瞩目的南水北调工程北京段途径北京房山区的韩村河村,而在北京及京外的建筑界享有较高知名度的北京韩建集团总部就坐落于此。这也是个千载难逢的机遇,韩
根据国家工业和信息化部工信厅科［2010］74号“关于印发2010年第一批行业标准制修订计划的通知”，《水泥制品用矿渣粉应用技术规程》、《硅砂粉技术规程》、《预应力离心混凝土空
大庆油田二类油藏(渗透率以100×10-3~300×10-3μm2为主)储量非常可观,已经成为下一步稳产攻关的方向。作为大庆油田二类油藏提高采收率的主要技术之一,聚合物驱的
期刊