阳极氧化铝薄膜厚度测试方法的研究

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【摘要】

：

通过自制的铝电解电容器模型,利用氧化铝薄膜具有的介电性能,通过电容量法可以准确快捷地计算氧化膜的厚度,并通过显微直接观察法、电解电量法、伏安法进行了验证.得到如下结

【作者】

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李东栋朱绪飞孟大伟肖迎红

【机构】

：

上海交通大学材料科学与工程学院,南京理工大学化工学院

【出处】

：

电子元件与材料

【发表日期】

：

2005年12期

【关键词】

：

电子技术阳极氧化铝氧化膜介电性能厚度 electronic technology anodic aluminum oxide （AAO） oxide

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通过自制的铝电解电容器模型,利用氧化铝薄膜具有的介电性能,通过电容量法可以准确快捷地计算氧化膜的厚度,并通过显微直接观察法、电解电量法、伏安法进行了验证.得到如下结论:所用铝条样品天然氧化膜的厚度约为8.0 nm;在H3PO4溶液中形成的氧化膜厚度随氧化时间变化为50～80 nm;阻档层生成率1.219.

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