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利用自研的静滴接触角测量仪测量平板类光学元件表面水滴接触角，测量了K9玻璃基片和镀有SiO2薄膜的K9玻璃的接触角，研究了图像采集时间（冻结时间）、滴注水珠体积和光学元件表面粗糙度对测量结果的影响，分析了光学元件在洁净处理过程中表面水滴接触角的变化过程，为光学元件表面洁净处理工艺研究和污染物定量测量提供了理论和技术支撑。