【摘 要】
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20 0 1年 10月 2 9日 ,由西安交通大学精密工程研究所蒋庄德、越玉龙教授负责完成的“棉条检测硅微传感器”项目通过了由教育部组织实施的科研成果鉴定 .该系统创新地采用了ＭＥＭＳ
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20 0 1年 10月 2 9日 ,由西安交通大学精密工程研究所蒋庄德、越玉龙教授负责完成的“棉条检测硅微传感器”项目通过了由教育部组织实施的科研成果鉴定 .该系统创新地采用了ＭＥＭＳ技术制作的硅应变片作为敏感元件 ,与国外金属丝应变片作为敏感元件的同类产品相比 ,具有分辨率
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