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美国模拟器件（Analog Devices）开发出了基于MEMS技术的振动传感器。可用于在工厂等检测制造装置发生的振动异常等用途。可检测出从直流到22kHz的大频率范围的振动。1000个批量购买时的单价为35美元，在大多以低价格取胜的MEMS元件中，定价较高。
美国模拟器件将上市35美元的振动传感器
【摘 要】
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美国模拟器件（Analog Devices）开发出了基于MEMS技术的振动传感器。可用于在工厂等检测制造装置发生的振动异常等用途。可检测出从直流到22kHz的大频率范围的振动。1000个批量
【出 处】
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光机电信息
【发表日期】
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2008年6期
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