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用脉冲激光沉积法制备CNx靶材在氮气中进行烧蚀，在不同靶基距下制备了CNx薄膜。用扫描电子显微镜（SEM）、X射线光电子谱（XPS）和 Raman光谱等对薄膜的表面形貌、化学成分以及元素化学状态进行了表征。用球盘式微型摩擦磨损试验仪测试了薄膜在大气中的摩擦学特性。结果表明：随着靶基距增大到45 mm时，CNx薄膜中的含氮量（原子数分数）上升至23.9%，有利于sp3C-C键和N-sp3C键的形成。当靶基距从45 mm增大至51 mm时，薄膜的含氮量下降至15.5%，薄膜中sp3C-N键和N-sp3C键的相