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光致抗蚀剂是制作超大规模集成电路的关键性材料之一,随着集成电路产业对集成度要求的不断提高,对于光致抗蚀剂的研究也不断深入.本文综述了光致抗蚀剂类型及应用,对于几种常用紫外光致抗蚀剂进行了阐述,并对其特性和适用范围做了简单介绍.
光致抗蚀剂的应用及其相关研究
【摘 要】
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光致抗蚀剂是制作超大规模集成电路的关键性材料之一,随着集成电路产业对集成度要求的不断提高,对于光致抗蚀剂的研究也不断深入.本文综述了光致抗蚀剂类型及应用,对于几种常
【机 构】
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吉林化工学院理学院,吉林化工学院材料科学与工程学院
【出 处】
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吉林化工学院学报
【发表日期】
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2014年7期
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