论文部分内容阅读
采用喷蚀的方法，研究了Ｃｕ在２．５ｍｏｌ／ＬＦｅＣｌ３溶液中影响蚀刻速度的几个因素。用ＸＲＤ方法分析了Ｃｕ蚀刻表面的成分，证实了蚀刻过程中ＣｕＣｌ钝化膜的形成；研究了蚀刻速度随蚀刻时间的变化规律，给出了初步的解释；同时研究了蚀刻液中不同氯化物添加剂对蚀刻速度的影响，结果表明阴离子不是影响蚀刻速度的唯一因素，不能排除阳离子的影响；同时对蚀刻液的溶铜能力及失效蚀刻液的再生进行了初步的研究。