【摘 要】
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早在 2000 年之前,阿贡国家实验室已经就金刚石化学气相淀积(CVD)展开试验,并成立了先进金刚石技术公司.该公司和创新微技术公司合作制造出金刚石微机电系统,并促进了 SP3 金
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早在 2000 年之前,阿贡国家实验室已经就金刚石化学气相淀积(CVD)展开试验,并成立了先进金刚石技术公司.该公司和创新微技术公司合作制造出金刚石微机电系统,并促进了 SP3 金刚石技术等金刚石晶圆专业公司生产用于淀积金刚石晶体的 CVD 设备.虽然截止目前,金刚石最大的应用还是在珠宝、研磨料和人造钻石等领域,但阿贡国家实验室仍努力寻求可使金刚石(自然的绝缘体)变为半导体和导体的方法,以此为所有的金刚石芯片铺平道路.而美国初创 Akhan 半导体公司已获美国能源部阿贡国家实验室的金刚石半导体工艺授权,再结合自身在金刚石领域的技术突破,计划成为首个真正实现金刚石半导体产品化的公司.
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