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激光消融与光化学蒸气沉积１．引言最近激光消融和光化学蒸气沉积作为生产各种薄膜的可能沉积法而受到重视。在激光消融中，强脉冲激光束将固体靶表面气化，并在真空室内沉积到基片上成为薄膜。激光消融的原始概念，在１９６０年激光问世不久就想到了［‘］。此后进行了一...
激光消融与光化学蒸气沉积
【摘 要】
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激光消融与光化学蒸气沉积１．引言最近激光消融和光化学蒸气沉积作为生产各种薄膜的可能沉积法而受到重视。在激光消融中，强脉冲激光束将固体靶表面气化，并在真空室内沉积到基片上
【出 处】
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激光与光电子学进展
【发表日期】
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1995年3期
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