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尽管许多IC制造厂家通常不对工艺用气体纯度进行现场分析,但未来器件生产的要求势必改变这种状况。
气体纯度的现场分析
【摘 要】
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尽管许多IC制造厂家通常不对工艺用气体纯度进行现场分析,但未来器件生产的要求势必改变这种状况。
【出 处】
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微电子学
【发表日期】
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1989年1期
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