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西格玛光机研制成功了一种配备飞秒激光器的直描装置。除可用于液晶面板的玻璃底板的微加工外，还可用于光导波路及微流路的形成等工艺中。
西格玛光机直描装置采用飞秒激光器
【摘 要】
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西格玛光机研制成功了一种配备飞秒激光器的直描装置。除可用于液晶面板的玻璃底板的微加工外，还可用于光导波路及微流路的形成等工艺中。
【出 处】
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光机电信息
【发表日期】
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2005年11期
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