【摘 要】
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研究了基于扭摆式结构的谐振式磁强计及其激振与测控系统，设计了扭摆式谐振磁强计的基本结构，其对称式结构能够抑制加速度对磁场检测的干扰．设计了L形梁来释放加工过程中的应力，
【基金项目】
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国家高技术研究发展计划（863计划）资助项目（2006AA042341）.
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研究了基于扭摆式结构的谐振式磁强计及其激振与测控系统，设计了扭摆式谐振磁强计的基本结构，其对称式结构能够抑制加速度对磁场检测的干扰．设计了L形梁来释放加工过程中的应力，推导了开环系统和闭环系统的传递函数，通过初步参数设计，对扭矩随线圈匝数的变化进行了仿真，并介绍了基于对被测信号进行调制和同步解调的电容检测原理．结果表明，该谐振式MEMS磁强计灵敏度和分辨率高，多匝线圈方案使器件灵敏度大幅度提高，10匝线圈时的扭矩是单匝线圈的8倍，磁强计分辨率优于30nT．
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