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半导体设备包括以集成电路材料晶体生长、硅片加工、晶圆制造、封装测试等为主的IC设备；发光二极管衬底材料制备加工、芯片、封测等为主的LED设备；以及以太阳能电池单晶、多晶材料制备、硅片加工、电池片生产设备等为主的PV设备。
叶甜春:对国产半导体设备厂商发展的建议
【摘 要】
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半导体设备包括以集成电路材料晶体生长、硅片加工、晶圆制造、封装测试等为主的IC设备；发光二极管衬底材料制备加工、芯片、封测等为主的LED设备；以及以太阳能电池单晶、多晶
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2017年6期
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