【摘 要】
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设计了一种谐振梁为双“W”截面形状的石英音叉谐振元件,通过在梁表面凹槽的两端设置深凹槽,有效提高了凹槽侧壁的陡直性,进而提高了电场的激励效率。经仿真对比,相对于“H”
【机 构】
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中国电子科技集团公司第二十六研究所,重庆市固态惯性技术企业工程技术研究中心,重庆市固态惯性技术工程实验室,重庆通信学院
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设计了一种谐振梁为双“W”截面形状的石英音叉谐振元件,通过在梁表面凹槽的两端设置深凹槽,有效提高了凹槽侧壁的陡直性,进而提高了电场的激励效率。经仿真对比,相对于“H”形截面的谐振元件,双“W”形截面的谐振元件的压电激励力提高约58%。设计了元件芯片工艺方案,并在直径50cm的晶片上制作出两种截面形状的谐振元件。测试结果表明,双“W”形截面的谐振元件的品质因数（Q）值和导纳分别由2 387、2 143ns提高至2 648、2 346ns,动态阻抗值由548kΩ降至417kΩ。
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