【摘 要】
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本文通过对利用高真空电子束焊机,对压力传感器、振动筒传感器等器件的封袋工艺进行了大量的实验研究表明:真空电子束焊接,加热点小、功率密度高、焊接速度快、便于控制、电
【机 构】
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中科院电子研究所,中科院电子研究所,中科院电子研究所,中科院电子研究所,中科院电子研究所,
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本文通过对利用高真空电子束焊机,对压力传感器、振动筒传感器等器件的封袋工艺进行了大量的实验研究表明:真空电子束焊接,加热点小、功率密度高、焊接速度快、便于控制、电子束作用力微小、焊缝精度高、工件不氧化等特点,非常适用于多种传感器的封袋工艺。
In this paper, a large number of experimental studies on the sealing process of pressure sensors, vibrating cylinder sensors and other devices by using high vacuum electron beam welding machine show that vacuum electron beam welding has the advantages of small heating spot, high power density, fast welding speed, Control, small electron beam force, high precision weld, the workpiece is not oxidized and so on, very suitable for a variety of sensors sealed bag process.
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