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本文介绍了压阻效应以及压阻式AFM悬臂梁力传感器的工作原理,并从悬臂梁与压阻尺寸和掺杂浓度等方面提出了改善悬臂梁传感器性能的设计与优化方法。
原子力显微镜悬臂梁力传感器的设计与优化
【摘 要】
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本文介绍了压阻效应以及压阻式AFM悬臂梁力传感器的工作原理,并从悬臂梁与压阻尺寸和掺杂浓度等方面提出了改善悬臂梁传感器性能的设计与优化方法。
【机 构】
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中国人民武装警察部队学院基础部
【出 处】
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电子制作
【发表日期】
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2014年12X期
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