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对于半导体产业的日新月异，我们早已司空见惯。而技术节点的更新换代也越来越快。没有哪个半导体生产部门比计量更能体现这一点。事实上，虽然那些推动我们加速前进的难题似乎需要进行工程开发而非R＆D来加以解决，但这丝毫不会降低其重要性。
业界对计量挑战达成共识
【摘 要】
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对于半导体产业的日新月异，我们早已司空见惯。而技术节点的更新换代也越来越快。没有哪个半导体生产部门比计量更能体现这一点。事实上，虽然那些推动我们加速前进的难题似乎需
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2007年5期
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