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期刊论文
功率高压稳流源的设计应用
功率高压稳流源的设计应用
来源 :电力电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jiaozhixuan
【摘 要】
:
介绍一种高压电流可调大功率稳流电路的设计方法,电路选用VMOS管作为功率器件。可实现工作电压800V以上或电流达数十安培的稳流电源,使用上限由VMOS管的最大额定值决定。电路简
【作 者】
:
闵子建
刘兆龙
郑鹉
【机 构】
:
首都师范大学,北京理工大学
【出 处】
:
电力电子技术
【发表日期】
:
2006年3期
【关键词】
:
稳流电源
溅射
镀膜/功率金属氧化物场效应晶体管
current-stabilized source / power MOSFET sputtering coa
【基金项目】
:
国家自然科学基金资助项目(50071038)北京市科委项目(Y0404013000011)
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介绍一种高压电流可调大功率稳流电路的设计方法,电路选用VMOS管作为功率器件。可实现工作电压800V以上或电流达数十安培的稳流电源,使用上限由VMOS管的最大额定值决定。电路简单可靠,可直接串联在直流供电回路中使用。该电路应用于溅射镀膜机上,可较精确地控制多层合金膜镀层。
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