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本文用数值模拟的方法研究了浮区中热毛细对流与溶质浓度毛细对流的耦合,分析了半导体晶体的浮区生长过程中杂质的影响.讨论了表面张力随浓度的增加而减少的典型情况.计算结果表明,在一定参数范围下,浓度Marangoni数对浮区中的流场和浓度场有明显的影响,对温度场的影响相对较小.
浮区中热和溶质的毛细对流
【摘 要】
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本文用数值模拟的方法研究了浮区中热毛细对流与溶质浓度毛细对流的耦合,分析了半导体晶体的浮区生长过程中杂质的影响.讨论了表面张力随浓度的增加而减少的典型情况.计算结
【机 构】
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中国科学院力学研究所,中国科学院力学研究所北京100080,北京100080
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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1992年4期
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