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<正> 胡:Axcelis(亚舍立)公司是离子注入技术及设备开发领域的先驱,请问你们目前有哪些新技术、新产品推出以满足 SIARoadmap 规划的需求?李:Axcelis 一向注重新技术和新产品的开发,即使在半导体工业不景气的情况下我们依然将
为中国半导体产业提供最新设备和技术工艺——访亚舍立半导体贸易（上海）有限公司总经理李鸿图
【摘 要】
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<正> 胡:Axcelis(亚舍立)公司是离子注入技术及设备开发领域的先驱,请问你们目前有哪些新技术、新产品推出以满足 SIARoadmap 规划的需求?李:Axcelis 一向注重新技术和新产品
【出 处】
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中国集成电路
【发表日期】
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2003年46期
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