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为中国半导体产业提供最新设备和技术工艺——访亚舍立半导体贸易(上海)有限公司总经理李鸿图
为中国半导体产业提供最新设备和技术工艺——访亚舍立半导体贸易(上海)有限公司总经理李鸿图
来源 :中国集成电路 | 被引量 : 0次 | 上传用户:SF20070601ZW126com
【摘 要】
:
<正> 胡:Axcelis(亚舍立)公司是离子注入技术及设备开发领域的先驱,请问你们目前有哪些新技术、新产品推出以满足 SIARoadmap 规划的需求?李:Axcelis 一向注重新技术和新产品
【作 者】
:
胡芃
【出 处】
:
中国集成电路
【发表日期】
:
2003年46期
【关键词】
:
中国
半导体产业
生产设备
生产工艺
人物采访
李鸿图
GSD—Ultra离子注入机
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<正> 胡:Axcelis(亚舍立)公司是离子注入技术及设备开发领域的先驱,请问你们目前有哪些新技术、新产品推出以满足 SIARoadmap 规划的需求?李:Axcelis 一向注重新技术和新产品的开发,即使在半导体工业不景气的情况下我们依然将
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