论文部分内容阅读
光电子平台是光电子器件研发的基础平台，可用于高效叠层薄膜光伏电池、量子激光器、探测器、传感器等光电子器件的研发及制备。本文从材料生长、器件工艺、测试平台、安全设计4个方面讨论了以MOCVD为基础的光电子平台的总体设计思路，包括了制备平台设计、材料生长仿真模拟分析、工艺优化、过程控制优化、测试分析设备整合优化、高危气体管道改造、尾气回收装置设计的实施方案。平台设计将主要为III-V族化合物半导体材料生长以及器件制作服务，通过不断设计改进最终建设成为集前沿材料生长研究和新型光电子器件研发的光电子技术科学研究平