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表面粗糙度是衡量产品表面质量的重要参数，随着表面加工精度的不断提高，产品的表面粗糙度也由微米级别向纳米级别发展。触针式表面轮廓仪是国家标准规定的测量表面粗糙度的方法，而原子力显微镜是测量表面粗糙度的新型仪器。通过对比原子力显微镜和表面轮廓仪的测量结果，分析了表面轮廓仪误差产生的主要原因，并提出了利用原子力显微镜测量薄膜纳米级表面粗糙度的方法。