微电机柔性制造技术发展趋势

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微电机制造特点是多品种、小批量、高精度,发展柔性制造技术是一个必然趋势。文中介绍柔性制造系统的构成、运行特点等,指出柔性制造系统可解决中小批量生产效率低、周期长、成本高、质量差等问题,对我国微电机制造技术的发展有重要意义。
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