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通过磁控溅射的方法在石英衬底上沉积了Au薄膜，经过热退火处理形成了不同表面形貌和尺寸的Au纳米颗粒。通过XRD、AFM和紫外可见光谱研究了薄膜的质量、表面形貌、尺寸和光谱特性，分析了不同表面形貌和尺寸的Au纳米颗粒对局域表面等离激元共振的影响。研究表明：随着退火温度的升高，Au薄膜由各向异性的蠕虫状结构逐渐变成规则的纳米颗粒，退火温度越高，Au纳米颗粒越接近于圆形，颗粒间距越大，导致局域表面等离激元共振峰位发生蓝移，半峰宽变窄；另外溅射时间对Au纳米颗粒的影响也很大，随着溅射时间的增加，颗粒尺寸变大，变得