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在对六甲基二硅烷(HMDO)-甲苯-水三元体系进行了热力学分析的基础上,应用化工流程模拟软件ASPEN PULS对工艺过程进行模拟.提出了共沸蒸馏、萃取的分离方案,筛选了5种共沸剂,结果表明丙酮为最佳共沸剂.丙酮与HMDO-水形成共沸物,分离甲苯;共沸物通过萃取的方式分离HMDO;水与丙酮可以通过普通精馏的方法得以分离,整个过程中的共沸精馏溶剂和萃取剂-水全部循环使用,没有废液的排放,实现了清洁生产.提出的工艺方案可为工业装置设计提供参考.