【摘 要】
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在综合分析了Maxwell-Garnett理论和有效介质理论的基础上,针对半导体湿敏陶瓷材料提出了一种新颖的复合模型,给出了以吸附参数和陶瓷材料气孔率为变量的薄膜折射率随湿度变
【机 构】
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上海理工大学,光学与电子工程信息学院,上海,200093上海理工大学,理学院,上海,200093;
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在综合分析了Maxwell-Garnett理论和有效介质理论的基础上,针对半导体湿敏陶瓷材料提出了一种新颖的复合模型,给出了以吸附参数和陶瓷材料气孔率为变量的薄膜折射率随湿度变化的理论关系.随着吸附参数的增大,SiO2薄膜的折射率增大;随着陶瓷材料气孔率的增大,SiO2薄膜的折射率将减小.利用薄膜折射率的变化检测湿度,灵敏度可以达到10-3数量级.通过计算机理论模拟与Alberto A H等人所做的实验结果对比,证明了该模型的正确性.
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