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以实验室自制1,4-二(甲氧二甲基硅烷基)苯[1,4-Bis(methoxydimethylsilyl)benzene,BMSB]为研究对象,Waters高分辨UPLC-TOFMS为分析测试手段,建立了针对有机硅合成单体体系的定性、定量分析方法,并把该方法应用于合成工艺优化,制得了较高品质的BMSB。