【摘 要】
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采用脉冲电沉积技术 ,在室温下的含YCl3和NiCl2 的二甲基亚砜 (DMSO)溶液中 ,沉积出含稀土元素Y的Y Ni合金薄膜。研究了影响镀层性能的工艺参数 ,包括脉冲频率、占空比、电流
【机 构】
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中山大学化学与化学工程学院,中国电子产品可靠性与环境试验研究所
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采用脉冲电沉积技术 ,在室温下的含YCl3和NiCl2 的二甲基亚砜 (DMSO)溶液中 ,沉积出含稀土元素Y的Y Ni合金薄膜。研究了影响镀层性能的工艺参数 ,包括脉冲频率、占空比、电流效率及Y在镀层中的含量与电流密度的关系 ,用X射线分析仪确定镀层的物相组成 ,用扫描电镜及能谱仪分析了合金镀层的组成及形态。发现 ,随着电流密度增大 ,合金镀层中的稀土Y含量增高。Y Ni合金薄膜具有非晶态结构 ,具有良好的耐蚀性和一定的抗氧化性
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