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日本屏幕制造公司开发成功了45nm层叠LSI元件的晶圆洗净技术。将配备今后该公司所有的枚叶式洗净装置，将其定位于由槽式向枚叶式过渡的核心技术。该公司表示已完成了采用该技术的装置的检测。
日本屏幕制造公司45nm晶圆洗净技术将标准配备枚叶式装置
【摘 要】
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日本屏幕制造公司开发成功了45nm层叠LSI元件的晶圆洗净技术。将配备今后该公司所有的枚叶式洗净装置，将其定位于由槽式向枚叶式过渡的核心技术。该公司表示已完成了采用该技
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2006年7期
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