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期刊论文
新型光敏聚酰亚胺微型阀
新型光敏聚酰亚胺微型阀
来源 :半导体情报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xqqsamsung
【摘 要】
:
微型阀是微流体测量系统的重要组成部分,本文提出了种微型光敏聚酰亚胺被动阀,分析了该材料性能,叙述了微型阀的特点、结构设计和工艺流程,并讨论了加工过程中的一些关键技术。
【作 者】
:
王晓浩
吕苗
【机 构】
:
清华大学精密仪器与机械学系微机械研究室,电子工业部第十三研究所
【出 处】
:
半导体情报
【发表日期】
:
1998年3期
【关键词】
:
微型阀
光敏聚酰亚胺
微机电系统
MicrovalvePhotosensitive polyimide
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微型阀是微流体测量系统的重要组成部分,本文提出了种微型光敏聚酰亚胺被动阀,分析了该材料性能,叙述了微型阀的特点、结构设计和工艺流程,并讨论了加工过程中的一些关键技术。
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