各种实用真空工程材料的出气率测试

来源 :真空科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:Jeanneyli
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本文简要叙述小孔流量法测量材料出气率实验原理和实验装置。给出了无氧铜、不锈钢和低碳钢等十多种材料的常温出气率实验结果,探讨了各种加工工艺和清洗工艺对材料出气率的影响。 This article briefly describes the experimental principle and experimental device for the measurement of material outlet rate by the small hole flow method. The experimental results of the outgassing rate of more than ten kinds of materials, such as oxygen-free copper, stainless steel and low-carbon steel, are given. The effects of various processing techniques and cleaning processes on the outgassing rate of the material are discussed.
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