高精度接触式测头测量力影响分析与建模*

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针对高精度非球面检测过程中,测量力对接触式传感器测头测量不确定度的影响问题,本文在建立接触式测头简化结构模型的基础上,分析建立了测杆倾斜、滑动以及弯曲变形对测量精度的影响模型。并通过仿真分析得出了高精度非球面测量过程中接触式测头受非球面相对口径等的影响规律,即,其中测杆的弯曲变形是测量力影响的主要分量。为进一步提高接触式测量的精度奠定了基础。
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