【摘 要】
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通过超声喷雾热解工艺在p型〈100〉Si衬底上制备了不同Mg掺杂浓度的纳米MgxZn1-xO薄膜。通过扫描电镜（SEM）、X射线光电子能谱（XPS）、X射线衍射（XRD）和光致发光（PL）谱的测试对不同Mg掺
【基金项目】
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天津市自然科学基金（09JCYBJC04400）资助项目
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通过超声喷雾热解工艺在p型〈100〉Si衬底上制备了不同Mg掺杂浓度的纳米MgxZn1-xO薄膜。通过扫描电镜（SEM）、X射线光电子能谱（XPS）、X射线衍射（XRD）和光致发光（PL）谱的测试对不同Mg掺杂浓度下薄膜的表面形貌、成分、晶体结构和光学性能进行了研究。SEM测试结果表明,低Mg掺杂浓度时,MgxZn1-xO表面平整致密,但随Mg浓度的增加,薄膜表面平整度降低。XRD测试结果表明在低浓度下MgxZn1-xO薄膜是ZnO的纤锌矿结构,而没有出现MgO的分相,ZnO的衍射峰峰强随Mg浓度的增加逐
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