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MCrA1Y(M=Fe,Ni,Co等)涂层是一种合金包覆涂层,用于防止燃气轮机涡轮部件的氧化和腐蚀。已经大规模用于沉积MCrA1Y涂层的技术有电子束物理气相沉积(EBPVD)、三极溅射、低压等离子喷涂(LPP)等。在一台专用装置上对磁控溅射沉积(MSD)MCrA1Y涂层进行了研究。结果表明MSDMCrA1Y涂层成分容易调整控制,涂层纯度高,涂层致密性和涂层厚度均匀性问题都比较容易解决;这些都比EBPVD或LPPS好。MSD的MCrA1Y涂层表面粗糙度远比LPPSMCrA1Y低。MSD的主要缺点是沉积速率低