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采用多孤离子镀技术制备高容量电容器用TiCxN1-x/Al复合铝箔电极，研究不同温度下TiCxN1-x／Al复合铝箔的比电容特性，并通过扫描电镜和X射线衍射分析不同温度下铝箔的表面微观结构和物相变化规律。结果表明，TiCXN1-x／Al复合铝箔的比电容高达1600μF／cm^2，经退火处理后，TiCxN1-x涂层表面颗粒有逐渐长大趋势，晶体结构也从非晶态向晶态转变，当退火温度高于200℃时，复合铅箔比电容下降较快。