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期刊论文
椭圆偏振法数据处理软件设计
椭圆偏振法数据处理软件设计
来源 :大学物理 | 被引量 : 0次 | 上传用户:venly
【摘 要】
:
以C++Builder 6.0为开发工具,成功设计和编制了一套椭偏法数据处理软件,它具有求解透明膜厚度、折射率和金属复折射率以及绘制(n,d)~(Ψ,Δ)列线图的功能,求解膜厚和折射率精
【作 者】
:
黄佐华
吴雪忠
何振江
杨冠玲
【机 构】
:
华南师范大学
【出 处】
:
大学物理
【发表日期】
:
2004年9期
【关键词】
:
椭圆偏振术
椭偏仪
数据处理
软件
薄膜
【基金项目】
:
广东省工业攻关项目(C60109)
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以C++Builder 6.0为开发工具,成功设计和编制了一套椭偏法数据处理软件,它具有求解透明膜厚度、折射率和金属复折射率以及绘制(n,d)~(Ψ,Δ)列线图的功能,求解膜厚和折射率精度分别达到0.01 nm和0.001.实验表明该软件的求解结果是准确和可靠的.
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