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利用组合的二次回归正交实验设计方案,对钽低温离子渗氮条件下,表面物相及固溶体中氮的含量随渗氮温度、气氛总压力和氢氮摩尔比的变化进行了系统研究.发现表面渗氮层由化合物Ta6N2.57、超晶格TaN0.1和固溶体相组成.氮在钽中的固溶度随气压、温度和氢摩尔分数的增加而增加,化合物和超晶格相含量随温度增加而增加,同时化合物相随氢摩尔分数增加有一个极大值,该极大值随温度增加而下降.