【摘 要】
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为满足各技术领域的要求,硬质薄膜业近年来得到了广泛的发展和应用。本文介绍了硬质薄膜技术的最新发展状况,阐述了各技术的特点和代表厂商。首先对CVD及其相关技术的发展情
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为满足各技术领域的要求,硬质薄膜业近年来得到了广泛的发展和应用。本文介绍了硬质薄膜技术的最新发展状况,阐述了各技术的特点和代表厂商。首先对CVD及其相关技术的发展情况进行了简介,再对PVD技术在硬质薄膜领域的应用进行了详述,最后对国内相关产业的发展进行了介绍和总结,同时本文对硬质薄膜技术在我国未来的发展提出了展望。
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