【摘 要】
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以传统的热分解法和新型的以纯钨丝为原料的气相反应法制备纳米WO3气敏材料，并以WO3为基材，制备了CH4气敏传感元件．气敏性能测试表明，热分解法制备的材料对CH4几乎没有气敏性能，而
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以传统的热分解法和新型的以纯钨丝为原料的气相反应法制备纳米WO3气敏材料，并以WO3为基材，制备了CH4气敏传感元件．气敏性能测试表明，热分解法制备的材料对CH4几乎没有气敏性能，而气相反应法制备出的WO3在2．5V加热电压下对5000ppm的CH4灵敏度均接近2．6．分析结果认为气相法制备的材料是非晶态的混合物，晶形呈菱形八面体状，晶粒间的缺陷是增加元件对CH4灵敏度的主要原因．
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