【摘 要】
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<正> 〔本刊讯〕由中国科学院光电技术研究所承担的“七五”国家重点科技攻关项目IOE1010G 直接分步重复投影光刻机(简称DSW 光刻机)样机的研制阶段已胜利完成.并于1990年3月
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<正> 〔本刊讯〕由中国科学院光电技术研究所承担的“七五”国家重点科技攻关项目IOE1010G 直接分步重复投影光刻机(简称DSW 光刻机)样机的研制阶段已胜利完成.并于1990年3月在成都通过了中科院的评议.该样机具备同轴逐场对准.电视整场对准及人工对准三种功能,并可实现全自动操作;在同轴逐场对准、精密工件
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