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用铸铁短纤维结合剂金刚石砂轮与脉冲电解修整相配合，对硅片进行了在线电解修整（ＥＬＩＤ）超精密磨削。研究了磨削工艺参数对硅片的加工质量及磨削效率的影响，采用原子力显微镜（ＡＦＭ）与扫描电子隧道显微镜（ＳＴＭ）对硅片磨削表面进行了形貌分析，探讨其微观磨削机理。
硅片的在线电解修整超精密磨削
【摘 要】
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用铸铁短纤维结合剂金刚石砂轮与脉冲电解修整相配合，对硅片进行了在线电解修整（ＥＬＩＤ）超精密磨削。研究了磨削工艺参数对硅片的加工质量及磨削效率的影响，采用原子力显微镜（ＡＦＭ）与扫描电子
【机 构】
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燕山大学
【出 处】
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中国机械工程
【发表日期】
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1999年5期
【基金项目】
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国家自然科学基金!E050804
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