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用MEVVA源引出的强束流Y,Cr,C注入H13钢改善了注入层抗氧化、耐腐蚀和抗磨损特性,探索了表面改性的机理。实验结果表明单注入和Y+C,Y+Cr双注入均能得到表面改性的良好效果,双注入效果略好。表面改性的原因是注入样品氧化前后的结构和合金相发生了明显的变化。上述特性的改善和注入层结构变化、钇铁化物析出相的生成以及铁钇氧化物形成密切相关。这些氧化物经短时氧化(10min)即可形成。由于这些氧化物