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平板显示器件生产中的制膜新技术
平板显示器件生产中的制膜新技术
来源 :光电技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:weaselhyp
【摘 要】
:
制膜技术是平板显示器件生产中的一项重要技术。它涉及到器件中许多功能层的制作。本文对进入21世纪后的一些制膜新技术作了介绍。
【作 者】
:
季旭东
【机 构】
:
华东电子集团公司
【出 处】
:
光电技术
【发表日期】
:
2008年1期
【关键词】
:
ITO
沉积
薄膜
FPD
制膜
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制膜技术是平板显示器件生产中的一项重要技术。它涉及到器件中许多功能层的制作。本文对进入21世纪后的一些制膜新技术作了介绍。
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