强碱-阳极氧化法处理Ti片制备TiO_2薄膜的研究

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本文利用强碱-阳极氧化法对钛片进行改性,制备TiO2薄膜;用扫描电镜(SEM)、X射线光电子能谱(XPS)考察了不同电解液浓度下氧化电压对TiO2氧化膜形貌及组成的影响。结果发现,在本实验条件下,该法制得的氧化膜是由三种钛氧化物组成的,主要成分是TiO2,此外还有低价钛氧化物Ti2O3及TiO;氧化电压的不同会对薄膜形貌产生重要的影响,当氧化电压较高时,氧化膜的厚度比较厚且致密;钛表面生成氧化膜大致过程可概括为:Ti→TiO→Ti2O3→TiO2,其中TiO转为为TiO2的几率依靠电势的大小及氧化时间的长
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