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等离子体化学气相法沉积金刚石的进展
等离子体化学气相法沉积金刚石的进展
来源 :大自然探索 | 被引量 : 0次 | 上传用户:kongduiyue2008
【摘 要】
:
本文评述了化学相沉积法制备人造金刚石薄膜的进展情况。重点评述反应机理,发展历史,沉积方法,衬底材料,检测手段。讨论了有利于形成立方晶系金刚石材料的沉积条件。
【作 者】
:
郑怀礼
【机 构】
:
重庆建筑大学基础科学系
【出 处】
:
大自然探索
【发表日期】
:
1998年2期
【关键词】
:
金刚石薄膜
化学气相沉积
等离子体
CVD
diamond film
chemical vapour deposition
plasma
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本文评述了化学相沉积法制备人造金刚石薄膜的进展情况。重点评述反应机理,发展历史,沉积方法,衬底材料,检测手段。讨论了有利于形成立方晶系金刚石材料的沉积条件。
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