【摘 要】
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本文介绍了基于半导体激光器线性调频干涉技术的全光纤表面粗糙度传感器的研究，该传感器的灵敏度为０．００５μｍ，量程为４ｍｍ，属微型化传感器，辅之以机械传动机构可完成对复杂曲面表面，沟槽表面及
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本文介绍了基于半导体激光器线性调频干涉技术的全光纤表面粗糙度传感器的研究，该传感器的灵敏度为０．００５μｍ，量程为４ｍｍ，属微型化传感器，辅之以机械传动机构可完成对复杂曲面表面，沟槽表面及３ｍｍ以上内孔表面的表面粗糙度测量，且结构简单易于实用化。
This paper introduces the research of the all-fiber surface roughness sensor based on the semiconductor laser chirp technique. The sensitivity of the sensor is 0.005μm and the measuring range is 4mm. It is a miniature sensor and complemented by a mechanical transmission mechanism to complete the surface of a complex curved surface , The groove surface and the surface roughness of the inner hole surface of 3mm or more are measured, and the structure is simple and easy to put into practical use.
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