论文部分内容阅读
本文讨论了改善场发射扫描电镜分辨本领的原理。分析结果表明，仪器的分辨本领主要依赖于物镜的球镜像差系数Ｃｓ。如果等效球像差系数能降低到０．１×１０＾－２ｃｍ的水平，则二次电子像的分辨本领为０．３２２ｎｍ（当扫描电子束的加速电压ＶＡ＝３０ｋＶ）。此外，在Ｃｓ＝０和扫描电子束的半开角α＝５×１０＾－２ｒａｄ，本文估计场发射扫描电镜的极限分辨本领可望达到０．１７８ｎｍ（当ＶＡ＝３０ｋＶ）。