【摘 要】
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MEMS是一种新型的技术手段,在当前生产行业有着广泛的应用。针对汽车传感器设计的MEMS技术取得了很大的发展成效,将汽车传感器行业的提高与发展带入了一个新的领域。但是,MEM
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MEMS是一种新型的技术手段,在当前生产行业有着广泛的应用。针对汽车传感器设计的MEMS技术取得了很大的发展成效,将汽车传感器行业的提高与发展带入了一个新的领域。但是,MEMS技术在汽车传感器设计中的应用也存在一定的问题,使得汽车传感器的成本提高,不利于汽车行业的发展。本文重点对MEMS汽车传感器设计关键技术进行了研究,对技术进行优化,相应的提出了一些发展策略,取得更好的效果。
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